阵列波导光栅装置的制作方法

本发明涉及一种阵列波导光栅装置，尤其涉及一种具有温度补偿的阵列波导光栅装置。

背景技术：

1、阵列波导光栅(arrayed waveguide gratings，简称awg)为基于平面光波导的光器件，包含输入波导、输入平面波导、阵列波导、输出平面波导，以及输出波导。运用此类阵列波导光栅的光学系统对于中心波长的稳定性通常希望控制于一定范围内，然而，现有awg芯片对温度比较敏感，其中心波长可能随温度变化而产生漂移，因此，现有技术通常采用设置温度补偿组件进行补偿，以控制其中心波长随温度变化的幅度。

2、除此之外，在美国发明专利公告号us07062127b2中，公开了通过变化基板的两个区域之间的间隙以及一体连接基板两个区域的枢轴(hinge)的方式，达到当基板的两个区域由于温度变化产生变形时，能够以枢轴为旋转中心旋转位移。然而，枢轴采用一体连接在基板的方式，对于基板的制造成本较高，且由于枢轴与基板的材质相同，对于要提升枢轴在反应基板变形以及温度补偿的灵敏度上，也会受到基板的限制。

技术实现思路

1、因此，本发明的一个目的，即在于提供一种可提高温度补偿灵敏度的阵列波导光栅装置。

2、于是，本发明阵列波导光栅装置包含一基板、一阵列波导光栅芯片以及一枢转件。该基板包含分离的一第一板部与一第二板部，该第一板部与该第二板部为相同材质。该阵列波导光栅芯片包括一输入平面波导，该输入平面波导包括设置在该基板的第一板部的第一部分以及设置在该基板的第二板部的第二部分。枢转件不同于该基板的材质，该枢转件连接该基板的第一板部与第二板部，使该第一板部与该第二板部能相对活动。

3、在一些实施方式中，该第一板部具有相反的一顶面与一底面，该第二板部具有相反的一顶面与一底面，该输入平面波导的第一部分设置于该第一板部的顶面，该输入平面波导的第二部分设置于该第二板部的顶面，该枢转件具有固定于该第一板部的底面的第一端部，以及固定于该第二板部的底面的第二端部。

4、在一些实施方式中，该基板与该枢转件为各别独立的元件。

5、在一些实施方式中，该阵列波导光栅装置还包含一温度补偿组件，该温度补偿组件包括二端部以及位于多个所述端部之间并且至少能相对于其中一端部位移的活动件，多个所述端部分别固定在该基板的第一板部与第二板部。

6、在一些实施方式中，该第一板部与该第二板部之间形成一间隙，该间隙包括彼此相连通并且不位于同一直线的一第一段与一第二段。

7、在一些实施方式中，该阵列波导光栅芯片的输入平面波导跨越该第一板部与该第二板部之间的间隙的第一段。

8、在一些实施方式中，该温度补偿组件跨越设置于该第一板部与该第二板部之间的间隙的第二段。

9、在一些实施方式中，该活动件与其中一端部之间形成一间隙。

10、在一些实施方式中，该温度补偿组件还包括连接该活动件与其中一端部并且通过该活动件与该端部之间的间隙的连接段。

11、在一些实施方式中，该温度补偿组件的连接段与该活动件一体成型。

12、在一些实施方式中，该温度补偿组件的连接段为独立于该活动件与该端部的元件。

13、本发明阵列波导光栅装置包含一基板、一阵列波导光栅芯片以及一枢转件。该基板包含一第一板部、一第二板部以及位于该第一板部与该第二板部之间的间隙。该阵列波导光栅芯片包括一跨越该基板的间隙设置与该第一板部与该第二板部的输入平面波导。该枢转件与该基板为个别独立的元件，该枢转件跨越该间隙并且一端连接该基板的第一板部，另一端连接该基板的第二板部。

14、在一些实施方式中，该枢转件跨越该间隙的局部段呈颈缩结构。

15、在一些实施方式中，该枢转件与该基板为不同材质。

16、本发明的功效在于，通过将该枢转件采用不同于该基板的材质，特别是再使该枢转件为独立于该基板的元件而结合于该基板，在该枢转件的外型、材质以及设置位置将可有更多变化的空间，更进一步的，通过宽度缩小的该连接段与该颈缩段，可提高其反应变形的灵敏度。

17、除此之外，通过使该基板的第一板部与第二板部为相同材质，特别是采用同一板材切割形成，则有助于在制造上的便利。

18、再者，在该温度补偿组件中。通过该间隙的形成，则有助于降低活动件的侧向刚性，提升该活动件变形的自由度与灵敏度，且由于该连接段是位于该活动件的一端，不论是与该活动件一体成型，或是另外制造并组装的独立元件，均有助于简化该活动件的制造以及该活动件与端部的结合。

技术特征：

1.一种阵列波导光栅装置，包含：

2.如权利要求1所述的阵列波导光栅装置，其中，该第一板部具有相反的一顶面与一底面，该第二板部具有相反的一顶面与一底面，该输入平面波导的第一部分设置于该第一板部的顶面，该输入平面波导的第二部分设置于该第二板部的顶面，该枢转件具有固定于该第一板部的底面的第一端部，以及固定于该第二板部的底面的第二端部。

3.如权利要求1所述的阵列波导光栅装置，其中，该基板与该枢转件为各别独立的元件。

4.如权利要求2所述的阵列波导光栅装置，其中，该枢转件还具有连接该第一端部与该第二端部的一连接段，该连接段的宽度小于该第一端部与该第二端部的宽度。

5.如权利要求4所述的阵列波导光栅装置，其中，该枢转件还具有形成于该连接段的一颈缩段，该颈缩段的宽度小于该连接段的宽度。

6.如权利要求1所述的阵列波导光栅装置，还包含一温度补偿组件，该温度补偿组件包括二端部以及连接在多个所述端部之间并且至少能相对于其中一端部位移的活动件，多个所述端部分别固定在该基板的第一板部与第二板部。

7.如权利要求6所述的阵列波导光栅装置，其中，该第一板部与该第二板部之间形成一间隙，该间隙包括彼此相连通并且不位于同一直线的一第一段与一第二段。

8.如权利要求7所述的阵列波导光栅装置，其中，该阵列波导光栅芯片的输入平面波导跨越该第一板部与该第二板部之间的间隙的第一段。

9.如权利要求7所述的阵列波导光栅装置，其中，该温度补偿组件跨越设置于该第一板部与该第二板部之间的间隙的第二段。

10.如权利要求6所述的阵列波导光栅装置，其中，该活动件与其中一端部之间形成一间隙。

11.如权利要求10所述的阵列波导光栅装置，其中，该温度补偿组件还包括连接该活动件与其中一端部并且通过该活动件与该端部之间的间隙的连接段。

12.如权利要求11所述的阵列波导光栅装置，其中，该温度补偿组件的连接段与该活动件一体成型。

13.如权利要求11所述的阵列波导光栅装置，其中，该温度补偿组件的连接段为独立于该活动件与该端部的元件。

14.一种阵列波导光栅装置，包含：

15.如权利要求14所述的阵列波导光栅装置，其中，该枢转件跨越该间隙的局部段呈颈缩结构。

16.如权利要求14所述的阵列波导光栅装置，其中，该枢转件与该基板为不同材质。

17.如权利要求14所述的阵列波导光栅装置，还包含一温度补偿组件，该温度补偿组件包括二端部以及连接在多个所述端部之间并且至少能相对于其中一端部位移的活动件，多个所述端部分别固定在该基板的第一板部与第二板部。

18.如权利要求17所述的阵列波导光栅装置，其中，该活动件与其中一端部之间形成一间隙。

19.如权利要求18所述的阵列波导光栅装置，其中，该温度补偿组件还包括连接该活动件与其中一端部并且通过该活动件与该端部之间的间隙的连接段。

20.如权利要求19所述的阵列波导光栅装置，其中，该温度补偿组件的连接段与该活动件一体成型。

21.如权利要求19所述的阵列波导光栅装置，其中，该温度补偿组件的连接段为独立于该活动件与该端部的元件。

技术总结
一种阵列波导光栅装置，包含一基板、一阵列波导光栅芯片以及一枢转件。基板包含分离的一第一板部与一第二板部，第一板部与第二板部为相同材质，阵列波导光栅芯片包括一输入平面波导，输入平面波导包括设置在基板的第一板部的第一部分以及设置在基板的第二板部的第二部分，枢转件不同于基板的材质并且连接基板的第一板部与第二板部，使第一板部与第二板部能相对活动。

技术研发人员：张书育,黄太忠,龚森明,曾占桥
受保护的技术使用者：珠海保税区光联通讯技术有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/16