丝网网版直写光刻机吸盘和直写光刻机的制作方法

本发明涉及丝网印刷，尤其是涉及一种丝网网版直写光刻机吸盘和直写光刻机。

背景技术：

1、丝印网版曝光是丝印网版制造工艺中的一个重要步骤。在这个步骤中，感光胶被涂在网版上，然后通过曝光来固化感光胶。这个过程的目的是使得感光胶在网版上形成一个图案，以便于后续的印刷。

2、丝印网版直写曝光机是一种使用激光束直接刻蚀模板或照相胶片的直写光刻机，它省去了曝光过程中的底片工序，节省了装卸底片时间和成本，以及减少了因底片涨缩引发的偏差。此外，它的图像解析度高，适合精细导线的制作。丝印网版直写曝光机提升了生产的良率,其基本原理是通过光刻技术和曝光机内部的核心部件载台来实现对丝网印刷版材的精确定位和固定。

3、相关技术中，曝光机在固定丝网印刷版材时通常采用机械夹紧或螺丝固定的方式，这种方式在使用过程中容易产生误差，影响印刷质量；丝网印刷版材的定位精度不高，更换不同规格的版材时需要频繁调整，操作效率低下。

技术实现思路

1、本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本发明提出了一种丝网网版直写光刻机吸盘，第一滚动件上升时使网版可沿第一方向上料和下料，第一滚动件下降时，吸附口可真空吸附网版；第一导向板和第二导向板保证网版上料的定位精度。

2、本发明还提出了一种直写光刻机。

3、根据本发明实施例的丝网网版直写光刻机吸盘，包括：吸盘主体，所述吸盘主体上设置有多个吸附口，多个所述吸附口选择性地与抽真空装置连通；导向组件，所述导向组件包括：两个第一导向板和第二导向板，两个所述第一导向板均沿第一方向延伸且相对设置，所述第二导向板沿第二方向延伸且与两个所述第一导向板形成第一容纳空间；至少两个导轨，至少两个所述导轨与所述吸盘主体相连接且沿第二方向间隔设置，任意所述导轨的上方设置有第一滚动件，所述导轨选择性地与输气装置连通，所述第一滚动件上升或下降；所述第一滚动件上升时，网版与第一滚动件抵接且可沿第一方向移动；所述第一滚动件下降时，所述吸附口可连通所述网版和所述抽真空装置。

4、根据本发明实施例的丝网网版直写光刻机吸盘，第一滚动件上升时使网版可沿第一方向上料和下料，第一滚动件下降时，吸附口可真空吸附网版；第一导向板和第二导向板保证网版上料的定位精度。

5、根据本发明的一些实施例，第一导向板上设置有第二滚动件，所述第二导向板上设置有第三滚动件，所述网版沿第一方向移动时与所述第二滚动件滚动配合，所述网版与所述抽真空装置连通时与所述第三滚动件抵接。

6、根据本发明的一些实施例，所述丝网网版直写光刻机吸盘还包括：电磁阀，所述电磁阀用于连通或断开所述导轨和所述输气装置，以使所述第一滚动件上升或下降。

7、根据本发明的一些实施例，所述丝网网版直写光刻机吸盘还包括：光纤传感器，所述吸盘主体设置有沿高度方向贯通的通孔，所述光纤传感器设置于所述通孔内，所述光纤传感器与所述电磁阀电连接；所述网版移动至与所述第二导向板抵接时，所述光纤传感器被触发，所述电磁阀断开所述导轨和所述输气装置。

8、根据本发明的一些实施例，所述吸盘主体的上部设置有多个吸附件，多个所述吸附件分别设置于多个吸附口处且连通所述网版和所述抽真空装置。

9、根据本发明的一些实施例，所述吸盘主体内设置有多个气流通道，多个所述气流通道分别连通多个吸附口和所述抽真空装置。

10、根据本发明的一些实施例，所述丝网网版直写光刻机吸盘还包括：第三导向板，所述第三导向板设置于两个第一导向板之间，所述第三导向板沿第一方向延伸，所述第三导向板上下移动且选择性地与所述第一导向板和所述第二导向板形成所述第二容纳空间。

11、根据本发明的一些实施例，所述丝网网版直写光刻机吸盘还包括：顶升组件，所述顶升组件位于所述吸盘主体的下方，所述顶升组件与所述第三导向板传动连接，驱动所述第三导向板上下移动。

12、根据本发明的一些实施例，所述顶升组件包括：驱动件和传动件，所述传动件与所述第三导向板传动连接，所述驱动件驱动传动件上下移动，以使所述第三导向板上下移动。

13、根据本发明实施例的直写光刻机，包括：所述丝网网版直写光刻机吸盘；运动平台，所述丝网网版直写光刻机吸盘位于所述运动平台上，所述运动平台与所述吸盘主体相连接；曝光光路模块，所述曝光光路模块位于所述丝网网版直写光刻机吸盘的上方，用于对所述网版进行曝光。

14、本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

技术特征：

1.一种丝网网版直写光刻机吸盘，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的丝网网版直写光刻机吸盘，其特征在于，第一导向板(21)上设置有第二滚动件(211)，所述第二导向板(22)上设置有第三滚动件(221)，所述网版(400)沿第一方向移动时与所述第二滚动件(211)滚动配合，所述网版(400)与所述抽真空装置连通时与所述第三滚动件(221)抵接。

3.根据权利要求1所述的丝网网版直写光刻机吸盘，其特征在于，还包括：电磁阀，所述电磁阀用于连通或断开所述导轨(30)和所述输气装置，以使所述第一滚动件(31)上升或下降。

4.根据权利要求3所述的丝网网版直写光刻机吸盘，其特征在于，还包括：光纤传感器，所述吸盘主体(10)设置有沿高度方向贯通的通孔(14)，所述光纤传感器设置于所述通孔(14)内，所述光纤传感器与所述电磁阀电连接；

5.根据权利要求1所述的丝网网版直写光刻机吸盘，其特征在于，所述吸盘主体(10)的上部设置有多个吸附件(13)，多个所述吸附件(13)分别设置于多个吸附口(11)处且连通所述网版(400)和所述抽真空装置。

6.根据权利要求1所述的丝网网版直写光刻机吸盘，其特征在于，所述吸盘主体(10)内设置有多个气流通道，多个所述气流通道分别连通多个吸附口(11)和所述抽真空装置。

7.根据权利要求1所述的丝网网版直写光刻机吸盘，其特征在于，导向组件还包括：第三导向板(23)，所述第三导向板(23)设置于两个第一导向板(21)之间，所述第三导向板(23)沿第一方向延伸，所述第三导向板(23)上下移动且选择性地与所述第一导向板(21)和所述第二导向板(22)形成所述第二容纳空间。

8.根据权利要求7所述的丝网网版直写光刻机吸盘，其特征在于，还包括：顶升组件(50)，所述顶升组件(50)位于所述吸盘主体(10)的下方，所述顶升组件(50)与所述第三导向板(23)传动连接，驱动所述第三导向板(23)上下移动。

9.根据权利要求8所述的丝网网版直写光刻机吸盘，其特征在于，所述顶升组件(50)包括：驱动件和传动件，所述传动件与所述第三导向板(23)传动连接，所述驱动件驱动传动件上下移动，以使所述第三导向板(23)上下移动。

10.一种直写光刻机，其特征在于，包括：权利要求1-9任一项所述丝网网版直写光刻机吸盘(100)；

技术总结
本发明公开了一种丝网网版直写光刻机吸盘和直写光刻机，丝网网版直写光刻机吸盘包括：吸盘主体，吸盘主体上设置有多个吸附口；导向组件，导向组件包括：两个第一导向板和第二导向板，第二导向板沿第二方向延伸且与两个第一导向板形成第一容纳空间；至少两个导轨，任意导轨的上方设置有第一滚动件，导轨选择性地与输气装置连通，第一滚动件上升或下降；第一滚动件上升时，网版与第一滚动件抵接且可沿第二方向移动；第一滚动件下降时，吸附口可连通网版和抽真空装置。其中，第一滚动件上升时使网版可沿第一方向上料和下料，第一滚动件下降时，吸附口可真空吸附网版；第一导向板和第二导向板保证网版上料的定位精度。

技术研发人员：于成信
受保护的技术使用者：合肥芯碁微电子装备股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/3/17