一种扩散炉管更换搬运装置的制作方法

文档序号:37295675 发布日期:2024-03-13 20:43 阅读:6 来源:国知局
一种扩散炉管更换搬运装置的制作方法

本技术涉及扩散炉,具体而言,涉及一种扩散炉管更换搬运装置。


背景技术:

1、在太阳能电池片的生产工艺中,扩散工艺用于制备太阳能电池的pn结结构,其大多是在扩散管式扩散炉中进行。扩散炉(diffusion furnace)是太阳能电池不可或缺的关键工艺设备之一,硅片置于石英反应管内,往反应管内通入磷(p)源或硼(b)源,高温下磷(p)源或硼(b)源分解,分解化合物与硅本底反应生成p原子或b原子,p原子或b原子再在高温下向硅中扩散,从而形成pn结。为了保证设备性能始终处于最优的状态下,需要定期对设备进行预防性维护,其中一项就是定期清洗管式扩散炉和管式pecvd设备的石英炉管。由于扩散(石英)炉管直径大、长度长、重量大,最上层石英炉管距离地面近三米,而且石英炉管是易碎品,因此每次进行清洗时拆装石英炉管需要6-8个人进行配合操作,如果出现配合失误极易造成扩散(石英)炉管的损坏和人员受伤。扩散炉管(130kg)损坏后拆装和更换靠人工搬运,每次更换需要6-8人。

2、扩散炉管为圆柱型,由于更换区域空间狭小并存在高度,传统的炉管更换需人工使用肩抗方式移动、举升到炉口位置,扩散炉管本身重量较大,搬运及举升全部依靠人力,移动过程中易造成设备损坏和人员受伤。

3、另外,传统的拆卸更换作业中,往往需要将扩散炉管来回挪动,这也增加扩散炉管损坏的风险。

4、中国专利202123079862.2公开了一种新型扩散炉机架,将炉管托架与机架设置为分体式结构,两者之间通过定位组件之间连接,使得炉管托架与机架可拆分、可固定,方便了炉管托架的安装,然而,该装置属于扩散炉的一部分,无法自由移动,不能解决扩散炉管拆装过程中人工搬运的问题。

5、中国专利cn202220496987.0公开了一种扩散炉管拆装装置,当需要拆装扩散炉时,拆除上下料机构,将固定机构与牵引机构连接,移动牵引机构靠近扩散炉管,固定机构固定在扩散炉管内壁中,向着远离炉体的方向拉动扩散炉管,当扩散炉管的第一端部位置超过第一个承载机构后,相对应的升降机构把对应的第一个承载机构运送至扩散炉管下方并对扩散炉管进行托负,其中,第一个承载机构中的多组万向球辅助扩散炉管移动;继续反向拉动扩散炉管,当扩散炉管的第一端部位置超过第二个承载机构后,相对应的升降结构把对应的第二个承载机构运送至扩散炉管下方并对扩散炉管进行托负;当扩散炉管跨过全部承载机构时,扩散炉管完全被拉出;所有升降机构下降,将扩散炉管置于方便搬运的高度,完成对扩散炉管的拆除。其整个拆除装置结构复杂,操作繁琐,需要三个承载机构相互配合,占地空间大,在狭小的更换区域中不够灵活。


技术实现思路

1、本实用新型旨在提供一种扩散炉管更换搬运装置,以解决现有技术中扩散炉管拆装过程中需要人工搬运,不仅容易损坏扩散炉管,而且劳动强度大,人员易受伤的问题。

2、本实用新型是采用以下的技术方案实现的:

3、本实用新型提供一种扩散炉管更换搬运装置,包括承载平台,所述承载平台的底部安装有多个万向轮,所述承载平台上安装有升降机构,所述升降机构的顶部安装有升降平台,所述升降平台上安装有炉管卡位夹具,扩散炉管用于置于所述炉管卡位夹具上。

4、作为优选的技术方案:

5、所述升降机构为剪叉式升降架。

6、作为优选的技术方案:

7、所述剪叉式升降架为手动剪叉式升降架或电动剪叉式升降架。

8、作为优选的技术方案:

9、所述升降平台的顶面安装有滑轨,所述滑轨上安装有两个滑块,所述滑块与所述滑轨相适配,所述滑块能够在所述滑轨上移动,每个所述滑块的顶部均固定连接有所述炉管卡位夹具。

10、作为优选的技术方案:

11、所述炉管卡位夹具的顶部设有弧形凹槽,所述弧形凹槽用于容纳所述扩散炉管,所述弧形凹槽与所述扩散炉管的形状相适配。

12、作为优选的技术方案:

13、其中一个所述滑块固定在所述滑轨的一端,其上连接的所述炉管卡位夹具为固定炉管卡位夹具,另一个所述滑块能够沿所述滑轨上自由滑动,其上连接的所述炉管卡位夹具为滑动炉管卡位夹具。

14、作为优选的技术方案:

15、所述固定炉管卡位夹具的弧形凹槽内设置有多个防滑凸起。

16、作为优选的技术方案:

17、所述防滑凸起为半球型。

18、作为优选的技术方案:

19、所述剪叉式升降架为双层剪叉结构或多层剪叉结构。

20、作为优选的技术方案:

21、所述万向轮采用自锁式万向轮。

22、综上所述,由于采用了上述技术方案,本实用新型的有益效果是:

23、本实用新型的结构简单、易维护、成本低廉,将现有技术中的人力搬运举升方式改为机械移动举升搬运方式,现有技术中靠人力搬运举升方式一次需要耗费2小时通过8人完成,而本实用新型更换一次扩散炉管只需要4人0.5小时即可完成,通过机械移动举升搬运方式将工作人员受伤风险降低至零,解决了扩散炉管搬运、更换过程中效率低和人工成本高的问题,保护了扩散炉管,降低了工作人员的劳动强度,保证了作业安全。



技术特征:

1.一种扩散炉管更换搬运装置,其特征在于:

2.根据权利要求1所述的扩散炉管更换搬运装置,其特征在于:

3.根据权利要求2所述的扩散炉管更换搬运装置,其特征在于:

4.根据权利要求1所述的扩散炉管更换搬运装置,其特征在于:

5.根据权利要求1所述的扩散炉管更换搬运装置,其特征在于:

6.根据权利要求5所述的扩散炉管更换搬运装置,其特征在于:

7.根据权利要求6所述的扩散炉管更换搬运装置,其特征在于:

8.根据权利要求2所述的扩散炉管更换搬运装置,其特征在于:

9.根据权利要求1-8任一所述的扩散炉管更换搬运装置,其特征在于:


技术总结
本技术涉及扩散炉技术领域,旨在解决现有技术中扩散炉管拆装过程中需要人工搬运,不仅容易损坏扩散炉管,而且劳动强度大,人员易受伤的问题,提供一种扩散炉管更换搬运装置,包括承载平台,所述承载平台的底部安装有多个万向轮,所述承载平台上安装有升降机构,所述升降机构的顶部安装有升降平台,所述升降平台上安装有炉管卡位夹具,扩散炉管用于置于所述炉管卡位夹具上;本技术的结构简单、易维护、成本低廉,保护了扩散炉管,降低了工作人员的劳动强度,保证了作业安全。

技术研发人员:王豪,赵佳民,李红有,唐旋,杨文栋,王鸿渝
受保护的技术使用者:眉山琏升光伏科技有限公司
技术研发日:20230705
技术公布日:2024/3/12
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