技术编号：11005604
提示：您尚未登录，请点 登 陆后下载，如果您还没有账户请点 注 册，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。金刚石拥有众多优异的性质，比如硬度、稳定性、热导率、禁带宽度、透光率等等，因此它在各个领域都有着广泛的应用前景。近年来，随着中国经济社会的飞速发展，高质量大面积的金刚石膜的制备技术引起了越来越多的人的关注，而MPCVD法因其无电极污染，放电稳定，便于控制等优点成为制备高质量大面积金刚石膜的首选方法。完整的MPCVD系统由微波电源、传输线、谐振腔以及相应的调节装置即三螺钉调配器组成，而传统三螺钉调配器由于微波泄漏高、工作温度高等原因难以实现对915MHz高功...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。