技术编号：84010
提示：您尚未登录，请点 登 陆后下载，如果您还没有账户请点 注 册，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及使用离子束制造扫描探针显微镜(SPM)纳米针探针的方法和由其制造的纳米针探针。更具体而言，本发明涉及一种制造SPM纳米针探针的方法和由其制造的SPM纳米针探针，该探针能够容易地被调整，以使附着于SPM纳米针探针尖端上的纳米针具有期望的指向，且该探针能够容易被准直，使附着于SPM纳米针探针尖端上的纳米针沿着期望的指向。 而且，本发明涉及一种使用离子束制造临界尺寸SPM(CD-SPM)纳米针探针的方法和由其制造的CD-SPM，该探针能够精确地扫描纳米尺度的样品物体的侧壁。更具体而言，本发明涉及一种制...
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