一种应用于OCT的高效率大底部占宽梯形槽光栅的制作方法

本发明涉及光栅，特别涉及一种应用于oct的高效率大底部占宽梯形槽光栅。

背景技术：

1、光谱成像是一种广泛应用于光学和光电领域的技术，用于分析和获取物体的光谱信息。它结合了光谱分析和图像采集的特点，能够同时获得不同波长的光谱信息和空间分辨图像。在光谱成像中，光栅通过其周期性的结构，将光分散到不同的角度或位置，以便进行光谱分析和成像。

2、表面浮雕光栅作为最常用的高衍射效率透射光栅，目前主要应用于高能激光领域。通过调整底部占宽、槽深和侧壁掩膜倾角可以满足高衍射效率的需求，同时表面浮雕光栅具有较大的光谱适用范围且目前制造技术成熟。

3、目前市面上oct系统使用的成像色散元件在中心波长840nm下的效率可以达到：te＞83％，tm＞83％，效率还存在提升空间。

4、因此，如何进一步提高oct光栅的衍射效率，成为了亟待解决的技术难题。

技术实现思路

1、本发明的主要目的是提供一种应用于oct的高效率大底部占宽梯形槽光栅，旨在进一步提高oct光栅的衍射效率。

2、为了实现上述目的，本发明提出一种应用于oct的高效率大底部占宽梯形槽光栅，光栅的周期为833.33nm；侧壁倾角为85°；光栅底部占宽比为1；光栅深度为a，2550nm≥a≥2450nm；中心波长为840nm；入射角为30.26°。

3、在本申请的一实施例中，所述光栅深度为2550nm。

4、在本申请的一实施例中，所述光栅为石英材质。

5、在本申请的一实施例中，所述光栅的线密度为1200线。

6、采用上述技术方案，大底部占宽梯形槽，在传统梯形槽的基础上扩大了底部光栅底部占宽比，较传统梯形有更高的深宽比，而且刻蚀容差大，减少了加工过程中的工艺难度。底部光栅底部占宽比为1的梯形槽光栅，在电场垂直于入射平面振动和电场平行于入射平面振动衍射效率均等于96％，中心波长效率可以达到99％，偏振灵敏度等于0.012％，对入射光偏振态不敏感，且具有宽带宽和高色散的特点。

技术特征：

1.一种应用于oct的高效率大底部占宽梯形槽光栅，其特征在于，光栅的周期为833.33nm；侧壁倾角为85°；光栅底部占宽比为1；光栅深度为a，2550nm≥a≥2450nm；中心波长为840nm；入射角为30.26°。

2.如权利要求1或2所述的应用于oct的高效率大底部占宽梯形槽光栅，其特征在于，所述光栅深度为2550nm。

3.如权利要求1所述的应用于oct的高效率大底部占宽梯形槽光栅，其特征在于，所述光栅为石英材质。

4.如权利要求1所述的应用于oct的高效率大底部占宽梯形槽光栅，其特征在于，所述光栅的线密度为1200线。

技术总结
本发明公开了一种应用于OCT的高效率大底部占宽梯形槽光栅，涉及光栅技术领域。具体光栅的周期为833.33nm；侧壁倾角为85°；光栅底部占宽比为1；光栅深度为A，2550nm≥A≥2450nm；中心波长为840nm；入射角为30.26°。旨在提高OCT光栅的衍射效率。

技术研发人员：刘斌,陈火耀,窦婷婷
受保护的技术使用者：安徽中科光栅科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/3/17