一种用于测试sem实验中放置硅片的盒子的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种用于测试SEM实验中放置硅片的盒子，包括有圆柱形盒体以及圆柱形盖体，圆柱形盒体的下端外壁上设有环形凹槽，圆柱形盖体的下端内壁上设有与环形凹槽配合的环形凸起，圆柱形盖体的侧壁上设有一个缺口，圆柱形盒体的内部由隔板分为若干等份，其中一个等份的外端封闭，其余各个等份的外端敞开，外端敞开的各个等份中编写有不同的编号并分别放置有硅片。本实用新型是用于贮存硅片，贮存时，圆柱形盖体旋合在圆柱形盒体上并且缺口对在外端封闭的等份处，需要取出某一编号对应的硅片时，只需用将缺口对在相应的外端敞开的等份上即可，使用方便，可有效保护硅片。
【专利说明】
【技术领域】
[0001] 本实用新型主要涉及实验器材领域，尤其涉及一种用于测试SEM实验中放置硅片 的盒子。 -种用于测试SEM实验中放置硅片的盒子
【背景技术】
[0002] 测试SEM实验中，对硅片的清洁度有一定的要求，硅片的储存及使用不当，极易对 硅片造成污染，影响测试数据。 实用新型内容
[0003] 本实用新型目的就是为了弥补已有技术的缺陷，提供一种用于测试SEM实验中放 置硅片的盒子。
[0004] 本实用新型是通过以下技术方案实现的：
[0005]-种用于测试SEM实验中放置硅片的盒子，其特征在于：包括有圆柱形盒体以及 圆柱形盖体，圆柱形盒体的下端外壁上设有环形凹槽，圆柱形盖体的下端内壁上设有与环 形凹槽配合的环形凸起，圆柱形盖体的侧壁上设有一个缺口，圆柱形盒体的内部由隔板分 为若干等份，其中一个等份的外端封闭，其余各个等份的的外端敞开，外端敞开的各个等份 中编写有不同的编号并分别放置有硅片。
[0006] 所述的一种用于测试SEM实验中放置硅片的盒子，其特征在于：所述的圆柱形盖 体上的缺口大小不小于硅片的大小，不大于圆柱形盒体的各个等份的敞口大小。
[0007] 本实用新型的优点是：
[0008] 本实用新型是用于贮存硅片，贮存时，圆柱形盖体旋合在圆柱形盒体上并且缺口 对在外端封闭的等份处，需要取出某一编号对应的硅片时，只需用将缺口对在相应的外端 敞开的等份上即可，使用方便，可有效保护硅片。
【专利附图】
【附图说明】
[0009] 图1为本实用新型的圆柱形盒体的结构示意图。
[0010] 图2为本实用新型的圆柱形盖体的结构示意图。
【具体实施方式】
[0011] 如图1、2所示，一种用于测试SEM实验中放置硅片的盒子，包括有圆柱形盒体1以 及圆柱形盖体2,圆柱形盒体1的下端外壁上设有环形凹槽3,圆柱形盖体2的下端内壁上 设有与环形凹槽3配合的环形凸起4,圆柱形盖体2的侧壁上设有一个缺口 5,圆柱形盒体1 的内部由隔板6分为若干等份，其中一个等份7的外端封闭，其余各个等份的的外端敞开， 外端敞开的各个等份中编写有不同的编号并分别放置有硅片。
[0012] 圆柱形盖体2上的缺口 5大小不小于硅片的大小，不大于圆柱形盒体1的各个等 份的敞口大小。
【权利要求】
1. 一种用于测试SEM实验中放置硅片的盒子，其特征在于：包括有圆柱形盒体以及圆 柱形盖体，圆柱形盒体的下端外壁上设有环形凹槽，圆柱形盖体的下端内壁上设有与环形 凹槽配合的环形凸起，圆柱形盖体的侧壁上设有一个缺口，圆柱形盒体的内部由隔板分为 若干等份，其中一个等份的外端封闭，其余各个等份的外端敞开。
2. 根据权利要求1所述的一种用于测试SEM实验中放置硅片的盒子，其特征在于：所 述的圆柱形盖体上的缺口大小不小于硅片的大小，不大于圆柱形盒体的各个等份的敞口大 小。
【文档编号】B01L3/00GK203862260SQ201420028870
【公开日】2014年10月8日 申请日期:2014年1月16日 优先权日:2014年1月16日
【发明者】许海峰, 刘宁, 马梦, 曹保银, 杨承志, 王桂英, 张明玉, 郝保明, 王红艳, 李娜, 刘鹏 申请人:宿州学院