本公开涉及一种过滤器冲洗设备和过滤器冲洗方法，并且更具体地，涉及一种能够冲洗在半导体工艺中使用的过滤器使得可以再循环和再利用该过滤器的过滤器冲洗设备和过滤器冲洗方法。
背景技术：
1、通常，在半导体设备、显示面板等的制造工艺中使用各种类型的处理液。可以通过处理液供应设备调节这些处理液的浓度、温度和流速以适应工艺条件，并且然后供应到用于处理基板的基板处理设备，并且在供应工艺期间，可以在处理液供应设备中使用过滤器以过滤包括在处理液中的杂质。此外，可以在排气系统中使用过滤器以防止在半导体设备、显示面板等的制造工艺中产生的副产物通过排气系统排放到外部空气。
2、用于在半导体设备、显示面板等的制造工艺中过滤各种杂质的这些过滤器是相当昂贵的，并且因此，为了降低成本，使用过滤器冲洗设备，执行诸如冲洗a类过滤器并且使受污染的过滤器再生以使它们如b类过滤器那样可再利用的处理，从而降低由于更换过滤器而可能额外产生的成本。
3、然而，已知的过滤器冲洗设备和过滤器冲洗方法具有这样的问题，即，在许多情况下，在冲洗过滤器期间仅使用冷去离子水(冷diw)难以使问题过滤器再生，由于不能定量地知道冲洗之前和之后的结果，因此不能具体地识别过滤器的冲洗程度，因为仅使用冷diw，所以只能使用湿式过滤器，并且因此，在使用干燥过滤器的情况下，在移除过滤器之后需要单独的干燥工艺。
技术实现思路
1、提供本公开以解决包括上述问题的各种问题，本公开的目的是为了提供一种过滤器冲洗设备和过滤器冲洗方法，其中，通过在过滤器冲洗工艺期间以期望时间间隔选择性地供应冷diw和热diw，可以提高过滤器的冲洗效果，通过液体颗粒检查(lpc)和电阻率检查，通过定量地比较冲洗过滤器之前和之后的结果值，可以具体地识别过滤器的冲洗程度，并且通过在冲洗之后使用过滤器干燥功能干燥过滤器，可以适用湿式过滤器和干式过滤器两者。然而，这些问题是示例性的，并且本公开的范围不限于此。
2、根据本公开的一个实施例，提供了一种过滤器冲洗设备。过滤器冲洗设备可以包括：主体，其中可以安装至少一个过滤器；去离子水(di水)供应单元，能够以期望时间间隔选择性地向安装在所述主体中的所述过滤器供应具有不同温度的多种类型的di水，从而冲洗所述过滤器；排出单元，将经过所述过滤器的所述di水排出到所述主体的外部；以及控制单元，电连接至所述di水供应单元以向所述di水供应单元施加第一控制信号，使得能够控制通过所述di水供应单元供应到所述主体的所述di水的温度和流速。
3、根据本公开的一个实施例，主体可以包括：第一过滤器安装单元，其中安装第一过滤器；第二过滤器安装单元，其中安装第二过滤器；第一供应管线，连接至所述第一过滤器安装单元以引导朝向所述第一过滤器安装单元的所述di水的供应；第二供应管线，连接至所述第二过滤器安装单元以引导朝向所述第二过滤器安装单元的所述di水的供应；分配管线，提供所述第一供应管线和所述第二供应管线之间的连接，使得通过所述di水供应单元供应到所述第一供应管线的di水的至少一部分能够被分配到所述第二供应管线，或者供应到所述第二供应管线的di水的至少一部分能够被分配到所述第一供应管线；第一排出管线，将经过所述第一过滤器安装单元的di水排出到所述排出单元；以及第二排出管线，将经过所述第二过滤器安装单元的di水排出到所述排出单元。
4、根据本公开的一个实施例，di水供应单元可以连接至所述第一供应管线或所述第二供应管线，以向所述第一过滤器安装单元和所述第二过滤器安装单元供应所述di水，并且以期望时间间隔选择性地供应具有第一温度的第一di水和具有比所述第一温度低的第二温度的第二di水。
5、根据本公开的一个实施例，还可以包括感测单元，该感测单元连接至所述第一排出管线和所述第二排出管线，以感测经过所述第一过滤器安装单元和所述第二过滤器安装单元的所述第一di水或所述第二di水的液体颗粒检查(lpc)值和电阻率值中的至少一者。
6、根据本公开的一个实施例，控制单元可以包括di水供应控制单元，在冲洗所述第一过滤器和所述第二过滤器的情况下，所述di水供应控制单元向所述di水供应单元施加冲洗信号，以第一次向所述第一过滤器安装单元和所述第二过滤器安装单元供应具有所述第一温度的所述第一di水，使得所述第一过滤器和所述第二过滤器能够被初次冲洗，并且然后第二次向所述第一过滤器安装单元和所述第二过滤器安装单元供应具有所述第二温度的所述第二di水，使得所述第一过滤器和所述第二过滤器能够被二次冲洗。
7、根据本公开的一个实施例，控制单元还可以包括感测控制单元，所述感测控制单元从所述感测单元接收感测信号，使得能够测量经过安装在所述第一过滤器安装单元中的所述第一过滤器和安装在所述第二过滤器安装单元中的所述第二过滤器的所述第一di水或所述第二di水的lpc值和电阻率值中的至少一者。
8、根据本公开的一个实施例，感测控制单元可以包括冲洗感测单元，所述冲洗感测单元向所述di水供应单元施加第二控制信号，使得在所述di水供应控制单元的控制下在冲洗所述第一过滤器和所述第二过滤器之后能够供应具有所述第二温度的所述第二di水，并且所述冲洗感测单元从所述感测单元接收冲洗感测信号，使得能够测量经过被冲洗的第一过滤器和第二过滤器的所述第二di水的冲洗lpc值和冲洗电阻率值。
9、根据本公开的一个实施例，感测控制单元还可以包括：初始感测单元，所述初始感测单元向所述di水供应单元施加第三控制信号，使得在所述di水供应控制单元的控制下在冲洗所述第一过滤器和所述第二过滤器之前能够供应具有所述第二温度的所述第二di水，并且从所述感测单元接收初始感测信号，使得能够测量在冲洗之前经过所述第一过滤器和所述第二过滤器的所述第二di水的初始lpc值和初始电阻率值；以及比较和确定单元，将由所述初始感测单元测量的所述初始lpc值和所述初始电阻率值与由所述冲洗感测单元测量的所述冲洗lpc值和所述冲洗电阻率值进行比较。
10、根据本公开的一个实施例，在所述初始lpc值和所述初始电阻率值与所述冲洗lpc值和所述冲洗电阻率值之间的差值小于或等于预先设定的预定差值的情况下，所述比较和确定单元可以确定需要对所述第一过滤器和所述第二过滤器进行额外冲洗，并且向所述di水供应控制单元施加再冲洗信号，使得所述第一过滤器和所述第二过滤器能够在所述di水供应控制单元的控制下被再冲洗。
11、根据本公开的一个实施例，还可以包括干燥气体供应单元，所述干燥气体供应单元连接至所述第二供应管线或所述第一供应管线以向所述第一过滤器安装单元和所述第二过滤器安装单元供应干燥气体，使得能够干燥已由所述第一di水和所述第二di水冲洗过的第一过滤器和第二过滤器。
12、根据本公开的一个实施例，控制单元还可以包括干燥控制单元，所述干燥控制单元向所述干燥气体供应单元施加干燥信号以在所述di水供应控制单元的控制下在冲洗所述第一过滤器和所述第二过滤器之后向所述第一过滤器安装单元和所述第二过滤器安装单元供应所述干燥气体，使得能够干燥所述第一过滤器和所述第二过滤器。
13、根据本公开的一个实施例，干燥气体供应单元可以供应氮气(n2)作为干燥气体。
14、根据本公开的另一个实施例，提供了一种过滤器冲洗方法。过滤器冲洗方法可以包括：过滤器安装步骤，在过滤器冲洗设备的主体中安装至少一个过滤器；冲洗步骤，以期望时间间隔向安装在所述主体中的所述过滤器选择性地供应具有不同温度的多种类型的去离子(di)水，从而冲洗所述过滤器；以及过滤器移除步骤，从所述过滤器冲洗设备的所述主体移除所述过滤器。
15、根据本公开的另一个实施例，冲洗步骤可以包括：第一冲洗步骤，第一次向其中安装有第一过滤器的第一过滤器安装单元和其中安装有第二过滤器的第二过滤器安装单元供应具有第一温度的第一di水，以执行初次冲洗所述第一过滤器和所述第二过滤器，以及第二冲洗步骤，第二次向其中安装有所述第一过滤器的所述第一过滤器安装单元和其中安装有所述第二过滤器的所述第二过滤器安装单元供应具有比所述第一温度低的第二温度的第二di水，以执行二次冲洗所述第一过滤器和所述第二过滤器。
16、根据本公开的另一个实施例，冲洗步骤还可以包括冲洗感测步骤，在所述冲洗感测步骤中，测量经过在所述第二冲洗步骤中被冲洗的第一过滤器和第二过滤器的所述第二di水的冲洗lpc值和冲洗电阻率值。
17、根据本公开的另一个实施例，还可以包括初始感测步骤，在所述初始感测步骤中，在所述冲洗步骤之前供应具有所述第二温度的所述第二di水，并且测量经过冲洗之前的第一过滤器和第二过滤器的所述第二di水的初始lpc值和初始电阻率值。
18、根据本公开的另一个实施例，还可以包括比较和确定步骤，在所述比较和确定步骤中，将在所述初始感测步骤中测量的所述初始lpc值和所述初始电阻率值与在所述冲洗感测步骤中测量的所述冲洗lpc值和所述冲洗电阻率值进行比较。
19、根据本公开的另一个实施例，在比较和确定步骤中，在所述初始lpc值和所述初始电阻率值与所述冲洗lpc值和所述冲洗电阻率值之间的差值小于或等于预定差值的情况下，确定需要额外冲洗所述第一过滤器和所述第二过滤器，并且重新执行所述冲洗步骤使得所述第一过滤器和所述第二过滤器能够被再冲洗。
20、根据本公开的另一个实施例，还可以包括干燥步骤，在所述冲洗步骤中冲洗所述第一过滤器和所述第二过滤器之后，向所述第一过滤器安装单元和所述第二过滤器安装单元供应干燥气体以干燥所述第一过滤器和所述第二过滤器。
21、根据本公开的另一个实施例，提供了一种过滤器冲洗设备。过滤器冲洗设备可以包括：主体，其中能够安装至少一个过滤器；去离子水(di水)供应单元，能够以期望时间间隔选择性地向安装在所述主体中的所述过滤器供应具有不同温度的多种类型的di水，从而冲洗所述过滤器；排出单元，将经过所述过滤器的所述di水排出到所述主体的外部；以及控制单元，电连接至所述di水供应单元以向所述di水供应单元施加控制信号，使得能够控制通过所述di水供应单元供应到所述主体的所述di水的温度和流速；其中，所述主体包括：第一过滤器安装单元，其中安装第一过滤器；第二过滤器安装单元，其中安装第二过滤器；第一供应管线，连接至所述第一过滤器安装单元以引导朝向所述第一过滤器安装单元的所述di水的供应；第二供应管线，连接至所述第二过滤器安装单元以引导朝向所述第二过滤器安装单元的所述di水的供应；分配管线，提供所述第一供应管线和所述第二供应管线之间的连接，使得通过所述di水供应单元供应到所述第一供应管线的di水的至少一部分能够被供应到所述第二供应管线，或者供应到所述第二供应管线的di水的至少一部分能够被供应到所述第一供应管线；第一排出管线，将经过所述第一过滤器安装单元的di水排出到所述排出单元；以及第二排出管线，将经过所述第二过滤器安装单元的di水排出到所述排出单元，所述主体还包括：干燥气体供应单元，连接至所述第二供应管线或所述第一供应管线，以向所述第一过滤器安装单元和所述第二过滤器安装单元供应干燥气体，使得能够干燥已由第一di水和第二di水冲洗过的第一过滤器和第二过滤器；以及感测单元，连接至所述第一排出管线和所述第二排出管线，以感测经过所述第一过滤器安装单元和所述第二过滤器安装单元的所述第一di水或所述第二di水的液体颗粒检查(lpc)值和电阻率值中的至少一者，以及所述di水供应单元连接至所述第一供应管线或所述第二供应管线，以向所述第一过滤器安装单元和所述第二过滤器安装单元供应所述di水，并且能够以期望时间间隔选择性地供应具有第一温度的所述第一di水和具有比所述第一温度低的第二温度的所述第二di水。
22、根据如上所述配置的本公开的一个实施例，通过经由di水供应单元以期望时间间隔选择性地向其中安装有过滤器的过滤器安装单元供应冷去离子水(冷diw)和热去离子水(热diw)，能够使用冷diw的清洁特性和热diw的清洁特性两者来进一步提高过滤器冲洗效果。
23、此外，通过在对冲洗过滤器之后排出的di水进行液体颗粒检查(lpc)和电阻率检查，定量地比较冲洗过滤器之前和之后的结果值，可以具体地识别过滤器的冲洗程度并且进一步提高过滤器的冲洗效果。
24、此外，在使用di水冲洗过滤器之后，通过干燥气体供应单元向其中安装有过滤器的过滤器安装单元供应干燥气体，以在冲洗之后使用过滤器干燥功能干燥过滤器，可以实现能够适用湿式过滤器和干式过滤器两者的过滤器冲洗设备和过滤器冲洗方法。当然，本公开的范围不受这些效果的限制。