一种四探针测试仪的制作方法

本实用新型属于单晶硅生产检测设备领域，尤其是涉及一种四探针测试仪。

背景技术：

四探针测试仪是在半导体单晶生产过程中用来测试单晶断面及表皮电阻率的测试仪器，但在实际使用过程中存在一定的不便，单晶硅的断面往往需要测试中心点，R/2以及边缘三个位置各四点共九个测试点，如图1所示，而现在使用的四探针的连接探头的连接臂是固定的。

以往的测试方法是通过在底座上来移动单晶段以改变测试点，但是随着单晶直径的增加，单晶的重量会逐渐增加，以气掺单晶最常用的切断长度270mm为例，表1为对应尺寸的一段单晶的重量。

表1 270mm气掺单晶长度重量:

随着单晶重量的增加，单晶段不但越来越难以移动，八寸的单晶已达22.8kg，在移动过程中稍有不慎，容易造成事故。

技术实现要素：

有鉴于此，本实用新型旨在提出一种四探针测试仪，以解决在单晶硅生产检测过程中，随着单晶重量的增加，单晶段不但越来越难以移动，且在移动过程中稍有不慎，容易造成事故的问题。

为达到上述目的，本实用新型的技术方案是这样实现的：

一种四探针测试仪，包括底座，所述底座上固定连接有竖杆；所述竖杆上套有可旋转连接臂和第一套筒，所述第一套筒通过固定螺丝固定在所述竖杆上；所述第一套筒位于所述可旋转连接臂的下方，且两者紧贴；所述可旋转连接臂与所述竖杆转动连接，所述可旋转连接臂末端通过第一合页连接有探头；所述探头电连接有显示器。

将第一套筒有固定螺丝固定在竖杆上，既起到限定可旋转连接臂竖直位置的作用，又起到托举可旋转连接臂的作用。

进一步的，所述竖杆表面为机械抛光面。

进一步的，所述可旋转连接臂通过第二套筒转动连接所述竖杆；所述第二套筒与所述可旋转连接臂一体成型；所述第二套筒外径大于所述第一套筒内径。

进一步的，所述可旋转连接臂包括第一连接臂和第二连接臂；所述第一连接臂套在所述竖杆上且通过所述第二套筒与竖杆转动连接；所述第一连接臂与所述第二套筒一体成型；所述第二套筒位于所述第一套筒的上方，且两者紧贴；所述第一连接臂末端通过第二合页连接所述第二连接臂，所述第二连接臂末端通过第一合页连接所述探头。

进一步的，所述第一连接臂长度大于所述第二连接臂长度。

进一步的，所述第一连接臂和所述第二连接臂底部均与水平面平行。

进一步的，所述竖杆位于所述底座上表面的一侧，且两者固定连接。

进一步的，所述竖杆顶部设有一挡板；所述挡板的直径大于所述第二套筒内径。挡板的设置，可防止与第二套筒一体成型的可旋转连接臂从竖杆上端脱出。

进一步的，所述固定螺丝位于所述第一套筒侧面。

相对于现有技术，本实用新型所述的一种四探针测试仪具有以下优势：

本实用新型所述的一种四探针测试仪，通过设置与竖杆旋转连接的第二套筒以及与第二套筒一体成型的可旋转连接臂，并在可旋转连接臂的第一连接臂和第二连接臂中间设置第二合页，可使探头自由旋转伸缩，检测到单晶截面上的任一点，从而不再需要通过时刻移动单晶来改变测试点，减少了不必要的劳动，增加了安全性；通过设置连接探头的第一合页，可使探头的四根探针自由调整方向，始终面向测试人，提高工作效率。

附图说明

构成本实用新型的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1为现有技术中单晶硅断面检测点位置简单示意图；

图2为本实用新型实施例所述的一种四探针测试仪检测单晶硅断面的简单示意图。

附图标记说明：

1-底座；2-竖杆；3-第一套筒；4-固定螺丝；5-第一合页；6-探头；7-显示器；8-第二套筒；9-第一连接臂；10-第二连接臂；11-第二合页；12-挡板；13-单晶段。

具体实施方式

需要说明的是，在不冲突的情况下，本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面将参考附图并结合实施例来详细说明本实用新型。

如图2所示，一种四探针测试仪，包括底座1，所述底座1上固定连接有竖杆2；所述竖杆2上套有可旋转连接臂和第一套筒3，所述第一套筒3通过固定螺丝4固定在所述竖杆2上；所述第一套筒3位于所述可旋转连接臂的下方，且两者紧贴；所述可旋转连接臂与所述竖杆2转动连接，所述可旋转连接臂末端通过第一合页5连接有探头6；所述探头6电连接有显示器7。

所述竖杆2表面为机械抛光面。

所述可旋转连接臂通过第二套筒8转动连接所述竖杆2；所述第二套筒8与所述可旋转连接臂一体成型；所述第二套筒8外径大于所述第一套筒3内径。

所述可旋转连接臂包括第一连接臂9和第二连接臂10；所述第一连接臂9套在所述竖杆2上且通过所述第二套筒8与竖杆2转动连接；所述第一连接臂9与所述第二套筒8一体成型；所述第二套筒8位于所述第一套筒3的上方，且两者紧贴；所述第一连接臂9末端通过第二合页11连接所述第二连接臂10，所述第二连接臂10末端通过第一合页5连接所述探头6。

所述第一连接臂9长度大于所述第二连接臂10长度，所述第二连接臂的长度为100mm。

所述第一连接臂9和所述第二连接臂10底部均与水平面平行。

所述竖杆2位于所述底座1上表面的一侧，且两者固定连接。

所述竖杆2顶部设有一挡板12；所述挡板12的直径大于所述第二套筒8内径。

所述固定螺丝4位于所述第一套筒3侧面。

本实施例的工作过程为：

使用时，将待检测单晶段13放置在所述底座1上，通过所述固定螺丝4调整所述第一套筒3，进而调整所述第一连接臂9的高度至最佳检测高度，通过转动所述第一连接臂9可对单晶表面宽度范围内的点进行检测；由于所述第一连接臂9和第二连接臂10通过第二合页11连接，则通过调整所述第二连接臂9的位置，可实现单晶表面不同长度范围内点的检测；整个工作过程中，可通过所述第一合页5调整所述探头6位置，确保其始终面向测试人。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。