机械臂装置及探针台的制作方法

本技术涉及晶圆检测，具体涉及一种机械臂装置及探针台。

背景技术：

1、在探针台中，通过机械臂将晶圆托起并转运至检测平台，以实现对晶圆的转运。常见的机械臂上常设置有吸盘，并通过粘胶将吸盘粘于机械臂面向晶圆的表面，并对吸盘进行抽真空以实现对晶圆的吸附。但是，粘胶工艺的效果不太稳定，在经过一段时间的使用后，吸盘可能从机械臂上脱落，吸盘设置于机械臂的结构稳定性较差。

技术实现思路

1、鉴于此，本技术提供一种机械臂装置及探针台，所述机械臂装置中的吸盘稳固安装于所述机械臂。

2、本技术提供了一种机械臂装置，所述机械臂装置包括：机械臂、吸盘以及弹性件，所述机械臂具有安装孔及流道，所述安装孔与所述流道连通；所述吸盘部分穿设于所述安装孔，所述吸盘具有进气通道，所述进气通道连通所述流道；所述弹性件分别穿设于所述吸盘且所述弹性件的相对两端卡接于所述机械臂，以将所述吸盘安装于所述机械臂。

3、进一步地，所述吸盘包括相连的安装部及吸嘴部，所述吸嘴部环绕所述安装部的外周设置且与所述安装部弯折相连，所述安装部设置于所述安装孔内，所述安装部具有外周侧壁、所述进气通道及相对设置的第一穿设孔及第二穿设孔，所述进气通道贯穿所述安装部面向所述吸嘴部的表面，所述第一穿设孔及所述第二穿设孔分别贯穿所述安装部的外周侧壁且分别连通所述进气通道，所述弹性件分别穿设于所述第一穿设孔及所述第二穿设孔，且所述弹性件的相对两端均凸出于所述安装部的外周侧壁。

4、进一步地，所述机械臂还具有位于所述机械臂的内部且环绕所述安装孔的凹槽；所述弹性件包括依次弯折相连的第一卡接部、连接部及第二卡接部，所述第一卡接部与所述第二卡接部分别朝向所述连接部的同一侧弯折，所述连接部的相背两端分别穿设于所述第一穿设孔及所述第二穿设孔，所述第一卡接部及所述第二卡接部分别至少部分位于所述安装部的相对两侧，所述第一卡接部及所述第二卡接部分别设置于所述凹槽，以将所述吸盘安装于所述机械臂。

5、进一步地，所述连接部包括依次相连的第一连接子部、抵持子部及第二连接子部，所述第一连接子部背离所述抵持子部的一端连接所述第一卡接部，所述第二连接子部背离所述抵持子部的一端连接所述第二卡接部；所述第一连接子部穿设于所述第一穿设孔，所述抵持子部位于所述进气通道且抵持所述进气通道的内壁，以限制所述弹性件与所述吸盘的相对位置，所述第二连接子部穿设于所述第二穿设孔。

6、进一步地，所述安装部还具有透气孔，所述透气孔贯穿所述安装部的外周侧壁，所述透气孔分别与所述流道和所述进气通道连通，且所述透气孔与所述第一穿设孔、第二穿设孔间隔设置。

7、进一步地，所述进气通道包括第一进气子通道及第二进气子通道，第一进气子通道的一端贯穿所述安装部面向所述吸嘴部的表面，另一端连通所述第一穿设孔，第二进气子通道的一端贯穿所述安装部面向所述吸嘴部的表面，另一端连通所述第二穿设孔，所述安装部还具有位于所述安装部面向所述吸嘴部的表面的沉槽，所述沉槽位于所述第一进气子通道与所述第二进气子通道之间；所述连接部包括依次弯折相连的第一连接子部、抵持子部及第二连接子部，所述第一连接子部与所述第二连接子部分别位于所述抵持子部的同一侧；所述第一连接子部背离所述抵持子部的一端连接所述第一卡接部，所述第一卡接部与所述抵持子部分别位于所述第一连接子部的相背两侧，所述第二连接子部背离所述抵持子部的一端连接所述第二卡接部，所述第二卡接部与所述抵持子部分别位于所述第二连接子部的相背两侧；所述第一连接子部穿设于所述第一进气子通道及所述第一穿设孔，所述抵持子部位于所述沉槽，所述第二连接子部穿设于所述第二进气子通道及所述第二穿设孔。

8、进一步地，所述第一进气子通道还贯穿所述安装部背离所述吸嘴部的表面，所述第二进气子通道还贯穿所述安装部背离所述吸嘴部的表面。

9、进一步地，所述抵持子部包括依次相连的第一配合段、连接段及第二配合段，沿垂直于所述第一配合段、所述连接段及所述第二配合段的排布方向上，所述第一配合段的相对两端分别凸出于所述连接段的相对两端，所述第二配合段的相对两端分别凸出于所述连接段的相对两端，所述连接段分别连接所述第一连接子部及所述第二连接子部，所述第一配合段位于所述第一连接子部及所述第二连接子部的同一侧，所述第二配合段位于所述第一连接子部及所述第二连接子部背离所述第一配合段的另一侧；所述沉槽包括依次相连的第一子槽、第二子槽及第三子槽，沿垂直于所述第一子槽、第二子槽及第三子槽的排布方向上，所述第二子槽的尺寸小于所述第一子槽的尺寸且所述第二子槽的尺寸小于所述第三子槽的尺寸；第一配合段位于所述第一子槽，连接段位于所述第二子槽，第二配合段位于所述第三子槽。

10、进一步地，所述第一连接子部具有第一夹取孔，所述第一夹取孔贯穿所述第一连接子部相背的两个表面；所述第二连接子部具有第二夹取孔，所述第二夹取孔贯穿所述第二连接子部相背的两个表面；所述第一夹取孔及所述第二夹取孔配合用于对所述弹性件进行夹取。

11、本技术提供了一种探针台，所述探针台包括：物料盒、本技术提供的机械臂装置以及检测平台，所述物料盒用于收容待检测样品，所述物料盒具有沿预设方向依次间隔排布的多个卡槽，单个卡槽用于收容单个待检测样品；所述机械臂装置用于取放待检测样品；所述检测平台用于放置并检测所述待检测样品。

12、在本技术中，所述机械臂装置应用于探针台且所述机械臂用于取放待检测样品，所述机械臂具有相互连通的安装孔及流道，且所述吸盘部分穿设于所述安装孔，吸盘的进气通道与流道连通，当对所述流道进行抽真空时，可实现对所述吸盘进行抽真空，以使得吸盘内部的气压小于外界的气压，从而实现对待检测样品的吸附，继而实现对待检测样品的搬运。当将待检测样品转运至特定位置时，通过向流道内通入气体，气体将进入到吸盘的内部，从而使得吸盘停止对所述待检测样品的吸附。在本技术提供的机械臂装置的装配过程中，先将所述弹性件的相背两端分别穿设于所述吸盘，以将所述弹性件与所述吸盘安装为一体结构；再将所述弹性件的相对两端卡接于所述机械臂，以实现所述弹性件与所述机械臂的相对位置的固定，继而实现所述吸盘与所述机械臂的相对位置的固定，从而实现将所述吸盘安装于所述机械臂。相较于直接将所述吸盘通过胶粘的方式安装于机械臂的方案，本技术中的弹性件将所述吸盘卡接于所述机械臂，提升了所述吸盘设置于所述机械臂的结构稳定性，从而避免所述吸盘从所述机械臂上掉落。此外，本技术的吸盘具有进气通道，使得所述进气通道可与所述流道流通，以保证所述吸盘与所述流道之间的气路的畅通性，继而有利于提升通过所述流道对所述吸盘进行抽真空的效率。且所述弹性件保证了将所述吸盘稳固设置于所述机械臂，使得在经过一段时间的使用后，所述机械臂与所述吸盘之间仍有较好的密封性能，继而使得通过所述流道对所述吸盘进行抽真空的效率较高。再者，沿所述机械臂的厚度方向上，所述吸盘的高度可减薄，有利于实现所述机械臂装置的轻薄化设计。当所述机械臂装置用于向物料盒取放待检测样品时，所述机械臂可伸入相邻的两个卡槽之间而避免对待检测样品进行剐蹭，所述机械臂装置具有较好的使用性能。