一种双面图像传感器的制作方法

文档序号:11136585 阅读: 来源:国知局

技术特征:

1.一种双面图像传感器,包括:

第一衬底,所述第一衬底包括具有第一光接收区的正面和与所述正面相对的背面;

在所述第一衬底的背面的凹槽,所述凹槽深度小于或等于所述第一衬底的厚度的一半;

固定于所述凹槽内的第二衬底,所述第二衬底包括具有第二光接收区的正面和与所述正面相对的背面,所述第二衬底的正面与所述第一衬底的背面共面。

2.根据权利要求1所述的双面图像传感器,其特征在于,还包括在所述第一衬底的正面上通过第一感光树脂层粘合的第一红外滤波片。

3.根据权利要求2所述的双面图像传感器,其特征在于,还包括在所述第二衬底的正面和第一衬底的背面上通过第二感光树脂层、透明填充层粘合的第二红外滤波片。

4.根据权利要求3所述的双面图像传感器,其特征在于,还包括在所述第一衬底的正面上的多个第一焊盘和在所述第二衬底的正面上的多个第二焊盘。

5.根据权利要求4所述的双面图像传感器,其特征在于,还包括电连接所述第一焊盘的、穿过所述第一衬底和第二感光树脂层的第一导电通孔,以及电连接所述第二焊盘的、穿过所述第二感光树脂层的第二导电通孔。

6.根据权利要求5所述的双面图像传感器,其特征在于,所述第一导电通孔和第二导电通孔分别通过焊球与所述第二红外滤波片的导电图案电连接。

7.根据权利要求5所述的双面图像传感器,其特征在于,所述第一导电通孔与所述第二导电通孔先电连接后,再通过焊球与所述第二红外滤波片的导电图案电连接。

8.根据权利要求7所述的双面图像传感器,其特征在于,所述第一导电通孔与所述第二导电通孔通过在第二感光树脂层内横向延伸的第三导电通孔电连接。

9.根据权利要求1所述的双面图像传感器,其特征在于,所述第一感光树脂层和第二感光树脂层为感光环氧树脂。

10.根据权利要求1所述的双面图像传感器,其特征在于,所述第二衬底通过粘合胶固定在所述凹槽底部。

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