1.一种热分解制备二氧化硅钝化层的方法,其特征在于:所述的制备方法为,
(1)将偏硅酸、虫胶、稀释剂混合后充分搅拌,得到粘稠状胶液;
(2)将步骤(1)得到的粘稠状胶液均匀涂刷在扩散后的硅片表面并烘干,再将该硅片于高温的惰性气体环境中放置一段时间后,自然冷却。
2.如权利要求1所述的热分解制备二氧化硅钝化层的方法,其特征在于:步骤(1)中,偏硅酸、虫胶、稀释剂的质量比为1:5~10:4~6。
3.如权利要求1所述的热分解制备二氧化硅钝化层的方法,其特征在于:步骤(1)中所述的稀释剂为乙醇。
4.如权利要求1所述的热分解制备二氧化硅钝化层的方法,其特征在于:步骤(2)中,烘干温度为80℃。
5.如权利要求1所述的热分解制备二氧化硅钝化层的方法,其特征在于:步骤(2)中所述的高温的惰性气体环境中,温度为300~400℃,惰性气体为氮气。
6.如权利要求1所述的热分解制备二氧化硅钝化层的方法,其特征在于:步骤(2)中,硅片于高温的惰性气体环境中的放置时间为15~25分钟。