一种热分解制备二氧化硅钝化层的方法与流程

文档序号:11102515 阅读: 来源:国知局

技术特征:

1.一种热分解制备二氧化硅钝化层的方法,其特征在于:所述的制备方法为,

(1)将偏硅酸、虫胶、稀释剂混合后充分搅拌,得到粘稠状胶液;

(2)将步骤(1)得到的粘稠状胶液均匀涂刷在扩散后的硅片表面并烘干,再将该硅片于高温的惰性气体环境中放置一段时间后,自然冷却。

2.如权利要求1所述的热分解制备二氧化硅钝化层的方法,其特征在于:步骤(1)中,偏硅酸、虫胶、稀释剂的质量比为1:5~10:4~6。

3.如权利要求1所述的热分解制备二氧化硅钝化层的方法,其特征在于:步骤(1)中所述的稀释剂为乙醇。

4.如权利要求1所述的热分解制备二氧化硅钝化层的方法,其特征在于:步骤(2)中,烘干温度为80℃。

5.如权利要求1所述的热分解制备二氧化硅钝化层的方法,其特征在于:步骤(2)中所述的高温的惰性气体环境中,温度为300~400℃,惰性气体为氮气。

6.如权利要求1所述的热分解制备二氧化硅钝化层的方法,其特征在于:步骤(2)中,硅片于高温的惰性气体环境中的放置时间为15~25分钟。

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